一、產品特點及用途

   1.產品特點

     該設備是一種新型工業級潔凈干燥設備，采用獨特的內外艙分體結構結合內循環風道設計，通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對內部進行自凈化過濾，從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫熱風烘烤環境。

   2. 產品用途

     產品廣泛應用晶圓片的硬烤、軟烤，LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室、航天航空等眾多工業領域的預熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應力等工藝。

二、產品詳細參數;

   1.箱體結構

    1.1.內膽材質：采用SUS304#日制800番1.5mm厚之鏡面不銹鋼板，滿焊處理，并經堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產生 PARTICLE1。

    1.2.外殼材質：外部采用1.2mm厚優質冷軋鋼板經防銹處理后噴塑，也可選用不銹鋼材質。

    1.3.保溫材質：采用120K高級保溫棉，六面保溫斷熱，保溫厚度為80mm-150mm，保溫性能好。

    1.4 載物層架：可根據物品大小調節層間距，空間利用率高。

   2. 溫度控制系統：日本歐姆龍智能溫度控制器，定值恒溫控制模式，PID自動演算，帶傳感器斷線報警功能，帶超溫警報保護功能，確保產品運行安全。

   3. 控溫方式

    3.1.訊號來源：采日制進口CA感應棒±0.5%。

    3.2.輸出被控組件：SSR固態無節點輸出，確保加熱功率精準。

   4.  箱內熱風循環系統

    4.1. 送風方式：箱內采用水平送風或垂直送風。

    4.2. 風道結構：風道兩側采用高密度沖孔風板，精準控制導流板角度，確保箱內溫度均勻性。

    4.3. 送風裝置：采用大功率三相異步耐高溫型長軸靜音馬達+大口徑不銹鋼渦輪扇葉，渦輪經水平糾正處理，確保運風平穩 ，噪聲≤65dB。

    4.4. 送風裝置安全保護系統：帶超溫過載過流保護功能，確保馬達及風機的使用壽命和安全性能。

    4.5電加熱系統：采用覆套式不銹鋼無塵化電熱發生器，潔凈不產塵(無縫潔凈不銹鋼覆套，高絕緣導熱改性氧化鎂澆筑，無名火，安全不漏電）

   5.潔凈循環系統

    5.1采用平面水平后邊送風后，經耐高溫高效過濾器H.E.P.A裝置往前門(特殊風道設計)方向送風，0.3um直徑PARTICLE，過濾效率99.97%，箱內潔凈度可達Class 100。

    5.2排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)，以達到強烈循環效果而降溫。

    5.3壓差計：進口壓差計，可實時監控H.E.P.A工作狀態。

    5.4配全自動開關風門，烘烤過程風門緊閉，確保內部對外封閉，防止外部排風PARTICLE回塵污染

  6.整機安全保護系統

    6.1. 采用三重超溫保護系統，確保箱體在運行過程中的整體安全性能（詳見技術參數）。

    6.2. 箱體內部電器保護系統（確保箱體內部電器運行平穩，安全可靠）：

    6.2.1.超溫防止器（獨立限溫，超溫斷電）；

    6.2.2.相序保護（欠壓欠相保護）；

    6.2.3.馬達過電流保護；

    6.2.4.控制線路保險絲；

    6.2.5.電熱過電流保護；

    6.2.6.無熔絲開關。