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? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?厭氧烘箱在半導體行業中的應用
在半導體生產過程中,有幾種工藝使用厭氧爐,以下是幾種常見的應用場景:
1、PI/BCB/BPO膠粘劑的固化:旋涂PI/BCB/BPO膠粘劑需置于無塵固化爐中高溫烘烤,箱內需達到50ppm以下的低氧環境。
2、晶片退火:為了消除芯片工藝前一階段高溫產生的內應力缺陷,晶片需要長期在低氧條件下長時間烘烤。
3、堅膜后烘:顯影后的基材需要去除光刻膠中的殘留溶劑(DNQ酚醛樹脂光刻膠中的氮氣會造成光刻膠的局部爆裂),為增強光刻膠在硅片表面的附著力,也需要在無氧環境中烘烤,溫度不宜過高。
4、基板烘烤:基材在封裝前需要排除內部的水分子,需要做氮氣烘烤處理,以保證更徹底地去除水分和保護基板。
5、封裝固化:封裝固化過程中,保護器件不被氧化,尤其是引線封裝,如SOP、SOT、QFN框架采用銅基材料,極易氧化,需要在低氧環境下固化。?
6、SMT烘烤:電子器件(特別是沒有防潮保存的芯片)、過期PCB在進貼片機前需要進行充氮烘烤。
蘇州格瑞達電子設備有限公司是一家專業從事各種型號規格的烘箱,產品有充氮烘箱、潔凈烘箱、防爆烘箱、臺車烘箱、熱風循環烘箱、無氧烘箱、真空烘箱等,我們致力于新產品開發、質量的提高及完善的售后服務,期待與您合作共贏。
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