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上海半導體公司訂購我司一批高溫無氧潔凈烘箱
收到一批上海半導體公司客戶寄樣的晶圓,實測我司半導體烘箱是否符合晶圓烘烤需求。
經現場實測:100L高溫無氧潔凈烘箱均勻性可達到?±1%,氧含量低值10ppm以下,箱內實現百級潔凈度,烘箱性能參數符合晶圓烘烤需求,并訂購一批定制高溫無氧潔凈烘箱。
半導體烘箱一般包含:無氧烘箱、充氮烘箱、潔凈烘箱、高溫無氧潔凈烘箱等。
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